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    瑞柯全自动四探针测试仪FT-3110

    产品型号: FT-3110
    品  牌: 瑞柯
    • 1 台
      ¥1235.00
    • ≧2 台
      ¥1234.00
    所 在 地: 浙江宁波宁波市
    更新日期: 2021-01-21
    详细信息
    FT-3110系列全自动四探针测试仪
    .功能描述
    四点探针法,全自动化运行测量系统,PC软件采集和数据处理;参照A.S.T.M 标准方法测试半导体材料电阻率和方块电阻;可设定探针压力值、测试点数、多种测量模式选择;真空环境,可显示:方阻、电阻率、显示2D,3D扫描/数值图温湿度值、提供标准校准电阻件.   报表输出数据统计分析.
    .适用范围
    FT-3110系列全自动四探针测试仪

    晶圆、非晶硅/微晶硅和导电膜电阻率测量;选择性发射极扩散片;表面钝化片;交叉指样PN结扩散片;新型电极设计,如电镀铜电阻测量等半导体材料分析,铁电材料,纳米材料,太阳能电池,LCD,OLED,触摸屏.
     FT-3110系列全自动四探针测试仪
    .技术参数:
    规格型号 FT-3110A FT-3110B
    1.电阻 10^-5~2×10^5Ω 10^-6~2×10^5Ω
    2.方块电阻  10^-5~2×10^5Ω/□ 10^-6~2×10^5Ω/□
    3.电阻率  10^-6~2×10^6Ω-cm 10-7~2×106Ω-cm
    4.测试电流  0.1μA.μA.0μA,100µA,1mA,
     
    10mA,100mA
    1A100mA10mA1mA100uA10uA1uA0.1uA
    5.电流精度  ±0.1%
    6.电阻精度  ≤0.3%
    7.PC软件操作 PC软件界面:电阻、电阻率、电导率、方阻、温度、单位换算、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、2D、3D图谱压力、
    报表生成
    8.压力范围: 探针压力可调范围:软件控制,100-500g可调
    9.探 针间绝缘电阻:≥1000MΩ;机械游移率:≤0.3%
    圆头镀金材质,探针间距1mm;2mm;3mm选配,其他规格可定制
    10.可测晶片
    尺寸选购
     
    晶圆尺寸:2-12寸6寸150mm,12寸300mm);
    方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
    11.分析模式 单点、五点、九点、多点、直径扫描、面扫描等模式的自动测试
    12.加压方式 测量重复性:重复性≤3
    13.安全防护 具有限位量程和压力保护;误操作和急停防护;异常警报
    14.测试环境 真空
    15.电源 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 
    16.选购项目 电脑和打印机
     
       
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